盛美上海获得发明专利授权：“进气管及炉管设备”_科技资讯

盛美上海获得发明专利授权：“进气管及炉管设备”

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2025-07-05 14:22:00

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“进气管及炉管设备”，专利申请号为CN202510295477.5，授权日为2025年7月4日。

专利摘要：本申请公开了一种进气管及炉管设备，进气管包括进气端和末端，在进气端至末端之间分布有多个出气孔，靠近进气端的出气孔的出气角度大于靠近末端的出气孔的出气角度，其中，出气角度为出气孔的开口朝向与基准线的夹角，基准线为进气管的进气管中心与炉管设备中的基片的基片中心之间的水平连线。本申请通过改变出气孔的出气角度，出气孔的出气角度越大，气流能够更多分布于基片外周区域，在不改变出气孔的出气量的情况下，能够提高前驱体在基片边缘区域的吸附量，这种调整有效减少了靠近进气端处基片外周区域与基片中心区域的厚度差异，以降低进气管在竖直方向上出气量不均匀导致的在竖直方向上不同的基片存在面内均一性的差异。

今年以来盛美上海新获得专利授权9个，较去年同期增加了125%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.29亿元，同比增18.47%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目167次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息568条；此外企业还拥有行政许可30个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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