广东凯迪微申请晶圆干燥装置及方法专利，能有效地去除污染物
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2024-10-23 07:00:42
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金融界2024年10月22日消息，国家知识产权局信息显示，广东凯迪微智能装备有限公司申请一项名为“一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法”的专利，公开号CN 118763019 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了晶圆干燥技术领域的一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法，包括清洗箱及排废箱，安装架设 有横移组件，清洗箱内部设有喷杆组件，清洗箱设有排风管、第二排液管及第一排液管，清洗箱底部设有快排管及快排阀，洗箱内部设有花篮，安装架设有摆臂机构，安装架的另外一端设有起泡器组件、加热器及排风管组件，排风管设置于第二排液管的上端，在液位降低过程中，喷杆喷射低表面张力的液体和气体，在晶圆表面形成表面张力梯度，激活马兰戈尼效应，从而有效地去除污染物，干燥方法包括以下步骤：步骤S1，晶圆装载，步骤S2，预清洗，步骤S3，晶圆清洗，步骤S4，晶圆干燥，步骤S5，晶圆卸载，该步骤能更进一步地提高晶圆清洗的洁净度。
来源：金融界
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