广东凯迪微申请晶圆干燥装置及方法专利，能有效地去除污染物
创始人
2024-10-23 07:00:42
0次
金融界2024年10月22日消息，国家知识产权局信息显示，广东凯迪微智能装备有限公司申请一项名为“一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法”的专利，公开号CN 118763019 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开了晶圆干燥技术领域的一种晶圆干燥装置及晶圆干燥方法，包括清洗箱及排废箱，安装架设 有横移组件，清洗箱内部设有喷杆组件，清洗箱设有排风管、第二排液管及第一排液管，清洗箱底部设有快排管及快排阀，洗箱内部设有花篮，安装架设有摆臂机构，安装架的另外一端设有起泡器组件、加热器及排风管组件，排风管设置于第二排液管的上端，在液位降低过程中，喷杆喷射低表面张力的液体和气体，在晶圆表面形成表面张力梯度，激活马兰戈尼效应，从而有效地去除污染物，干燥方法包括以下步骤：步骤S1，晶圆装载，步骤S2，预清洗，步骤S3，晶圆清洗，步骤S4，晶圆干燥，步骤S5，晶圆卸载，该步骤能更进一步地提高晶圆清洗的洁净度。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
行业销量跌近两成，合资阵营唯一...
2026年前五个月，中国车市压力显著。乘联会数据显示，国内汽车零售量同比下滑近两成，部分合资车企4月...
炎炎夏日 如何睡个好觉
进入盛夏，你的睡眠是不是也开启了“困难模式”？夜里辗转反侧，空调开开关关，天快亮了才迷糊睡着，白天却...
如何面对生活的失重感？
《爱情抓马》 你或许有过这样的时刻：拿起手机，解锁，手指悬在屏幕上，却忽然想不起来自己原本要做什么。...
硅基智能申请基于聚类处理的通话...
国家知识产权局信息显示，南京硅基智能科技集团股份有限公司申请一项名为“一种基于聚类处理的通话声音转换...
张小龙10年前就预判了Agen...
文 | 罗超频道 这几天关于微信AI的传言和讨论越来越多，给人一种呼之欲出的感觉，也让自媒体圈迎来...
顶流企业扎堆落地！无锡在具身智...
6月11日，2026长三角机器人及自动化展览会暨无锡具身智能机器人产业链伙伴大会正式启幕。这场由中国...
深圳国产芯片新进展！深智城集团...
近日，市属国企深智城集团旗下深圳市智城算网科技有限公司联合多家高校及研究机构，成功完成1.6万亿参数...
大众点评宣布加大真实内容生态投...
当前，随着AI创作工具进一步普及，AI生成内容泛滥，各类种草帖越来越精美，但也越来越雷同。特别是在吃...
兆易创新推出光模块专用MCU新...
IT之家 6 月 12 日消息，兆易创新 (GigaDevice) 本月 10 日宣布推出 GD32...
原创 杨...
《神雕侠侣》中，那主角杨过堪称是万人迷一般的存在，只要是与他接触过的女子，都不免会被他迷得晕头转向，...