淄博市半导体晶圆输送机器人亮相上海_科技资讯

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2024-07-06 18:01:24

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7月3日至5日，国际显示技术及应用创新大会在上海举行，即将在我市投产的新产品——半导体晶圆输送机器人亮相展会。

据了解，晶圆输送机器人承担着晶圆精确定位与平稳搬运的任务，是半导体制造装备中使用最多的机器人设备。晶圆输送机器人的定位传输精度，直接决定着晶圆传输设备整机系统的传输精度。由于零部件构造复杂、精度要求严苛等问题，这一技术一直是半导体制造装备领域的一大难点，长期被国外垄断。

为攻克这一技术难关，山东现代庆炀智能装备有限公司（以下简称现代庆炀）研发团队历经多年研发，成功研制出半导体晶圆输送机器人和晶圆自动上下料机器人。这一系列产品能够实现晶圆高效、稳定运输，为晶圆自动化搬运保驾护航，助力我国半导体制造装备行业发展。

展会上，现代庆炀还与成都环龙智能机器人有限公司等4家企业进行了现场签约，双方将在半导体晶圆输送机器人及其他领域开展深度合作。记者了解到，另外还有十余家未到场企业有合作意向。

“淄博作为老工业基地，工业门类齐全，产业基础雄厚，特别是近年来对机器人产业扶持力度大。工博士将以此次签约为契机，期待未来能继续与这座城市携手共进。”签约嘉宾工博士机器人智能装备事业部总经理姚雪在现场说。

今后，这一产品将落地临淄智能机器人产业基地，进一步延伸我市机器人产业链，推动我市机器人产业生态更加丰富。（淄博日报记者赵培珊胡明）

来源：淄博日报博览新闻