才华绽放 留学归来
张浩从小就对科学感兴趣,早早展现出过人的天分。国内读完本科,他2000年就去了美国南加州大学,继续钻研电气工程。先是2002年拿下物理学硕士,紧接着2006年搞定电气工程博士。
博士期间,他专攻薄膜体声波谐振器技术,这跟射频滤波器有关,应用在无线通信设备上。张浩和同学庞慰合作,搞了不少实验,还得到美国国防部资金支持。毕业后,他进了Skyworks Solutions公司,当高级工程师。这家公司在加州,主攻无线射频半导体。
张浩在那儿负责滤波器设计和制造,庞慰则去了AvagoTechnologies,两人通过邮件和会议保持联系,一起申请了七项专利。这些专利涉及滤波芯片的核心方法,很快就成了行业认可的东西。
2009年,张浩辞掉美国的工作,回到天津大学当教授。他觉得国内芯片产业需要人才,就带着经验回来了。天津大学给他安排了精密仪器与光电子工程学院的职位,他开始带学生做实验,推动技术应用。
2010年,他和学院合作,启动多项项目。2011年,张浩和庞慰还有其他同事,一起创办了诺思(天津)微系统有限责任公司。公司在天津注册,得到天津大学通过开曼群岛的Novana公司和天津微纳技术有限公司的投资。
公司主攻射频滤波芯片,尤其是FBAR滤波器,这东西在5G、无线通信和国防领域用得广。在此之前,这技术基本被美国Avago公司垄断。张浩他们一搞,就打破了这个局面,让中国有了自己的选择。
张浩回国后,专利数量蹭蹭上涨,天大和诺思在滤波领域积累了200多项专利。公司还和中兴通讯合作,交换技术规格。公司发展快,得到政府项目支持。2011年,Avago高管来中国访问诺思实验室,他们看了设备,觉得相似,就回国报告说复制了他们的技术。
其实诺思实验室小得很,只有200多平方米,主要给学生练手,跟Avago上万平方米的先进设施没法比。2012年,Avago又来天津大学实验室,张浩接待他们,解释用途,但他们还是提交报告给联邦调查局。调查局开始收集证据,包括邮件和专利文件。
张浩继续工作,指导团队测试滤波器原型。公司与电子工业集团下属研究院合作,提供样品。诺思的FBAR技术成了国内首家IDM模式的厂商,建了亚洲首座有完全知识产权的FBAR晶圆厂。这让中国在高端滤波器上不再受制于人。
阴谋陷害 牢狱煎熬
2015年4月1日,美国加州北区法院收到密封起诉书,指控张浩和庞慰、陈晋平、魏少军、惠辉仪、王辉六人犯经济间谍和窃取商业秘密罪。起诉说他们在2006到2009年,从Skyworks和Avago拿技术,用于中国公司。
5月16日,张浩去美国参加国际微波会议,在洛杉矶机场被联邦调查局逮捕。其他五人没去美国,没被抓。张浩被关进拘留中心,面临32项指控。
2015年7月30日,朋友用房产抵押50万美元保释金,把他放出来。但第二天,移民执法官员以签证问题又抓他回去。几天后重新保释,他住加州公寓,脚上绑电子镣铐,每天活动受限,从早8点到晚8点能出门。
案件审理拖了很久,美国方面用各种理由延期,每年说开庭,却总推迟。2016年,诺思发现Avago卖给苹果的滤波芯片用了他们的专利,就拆解设备取证,在天津第一中级人民法院起诉苹果侵权。
Broadcom(Avago已并入)在中国发起两起反诉,搞得程序复杂,审理进度慢。天津法院暂时中止诺思的案子。张浩在公寓生活,身体日渐消瘦,父母年事高,母亲住院几次,父亲脑梗,他只能视频联系。
2020年6月26日,圣何塞联邦法院陪审团开庭,四天后认定张浩经济间谍、窃取商业秘密和共谋罪成立。9月1日,法官判18个月监禁和47.7万美元赔偿。因为先前拘押时间够,他没额外坐牢,但还不能离开美国。
天津大学和社会各界给张浩法律援助,推动上诉。2021年,上诉到第九巡回上诉法院,但2022年维持原判。张浩退出诺思股东行列。庞慰也离开公司,去别处创业。诺思加大研发,建新厂避侵权风险。案件影响大,客户一度终止合作,公司靠地方政府支持才稳住。
张浩的案子成了美国打压中国高科技的例子,华人科学家被控间谍的比例高。2024年2月27日,美国法院清除张浩刑事指控,Bloomberg报道说中国芯片公司清白,这算是个转折。但纠纷没完,专利诉讼还在继续。
正义昭雪 科研续航
2024年7月3日,诺思通过官方微信宣布,与Broadcom达成全面和解。双方撤回所有诉讼,包括美国联邦法院指控和中国法院纠纷,还就某些中国专利达成交叉许可。这结束了九年纠纷,张浩终于清白。
和解后,诺思扫清障碍,继续发展FBAR滤波器。2025年3月5日,环球时报确认,张浩被美国移民局释放,能安全回国。天津大学律师说,地方法院法官得知情况后,推动释放。张浩回国,继续在芯片领域工作,推动国产技术。
这个案子暴露了美国在科技竞争中的手段,用法律卡中国脖子。但中国芯片产业没停步,诺思成了薄膜腔声谐振滤波器头部企业,产品用在5G和6G通信上。FBAR技术靠硅衬底微机电系统制造,中国首家有完整产业链的公司就是诺思。
张浩和庞慰的专利基础,让公司领先。张浩的经历提醒大家,科技自主重要,不能总靠进口。九年时间,张浩从顶级专家变成被告,但最终证明清白。
中国支持高科技人才回国,诺思的成功就是例子。公司现在供应多家制造商,出口扩大。未来,中国芯片要突破更多封锁,张浩这样的专家是关键。