江苏迈纳德申请原子层沉积设备专利，降低外腔内热量流失
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2024-12-08 07:02:10
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金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，江苏迈纳德微纳技术有限公司申请一项名为“一种原子层沉积设备”的专利，公开号 CN 119082705 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明涉及原子层沉积领域，公开了一种原子层沉积设备，包括外腔和设置在外腔内的内腔、与内腔尺寸适配的盖板、用于承载基材架的载台以及用于驱动盖板和载台同步移动的驱动模块，所述外腔的外表面设置有与载台位置对应的料口和用于开/关料口的封板，外腔的外表面固定安装有底座，底座上设置有滑板和用于驱动滑板移动的控制组件，滑板上设置有用于调节基材架方向的调节组件。本发明通过滑板、控制组件、调节组件和料口等之间的配合，使得基材架以水平状态进入外腔内并落到载台上呈竖直状态，以此可有效降低料口的整体尺寸，无需开设沿上下方向长度较大的料口，可有效降低外腔内的热量流失，使得内腔可快速达到沉积加工的对应温度。
来源：金融界
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