北方华创申请匹配器的配置方法专利，能够有效缩短阻抗匹配时长_科技资讯

北方华创申请匹配器的配置方法专利，能够有效缩短阻抗匹配时长

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2026-07-12 04:35:52

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“匹配器的配置方法、装置、半导体工艺设备及存储介质”的专利，公开号CN122370260A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本申请提供了一种匹配器的配置方法、装置、半导体工艺设备及存储介质，该方法通过开启射频电源，获取等离子体腔室稳定起辉后第一电容的第一电容值和第二电容的第二电容值，并重启射频电源，以第一电容值和第二电容值作为匹配器的初始值，至少控制第二电容从初始值开始负方向调节，直至等离子体腔室稳定起辉后，获取第一电容的第三电容值和第二电容的第四电容值，并关闭射频电源，根据第一电容值和第三电容值确定第一电容的第一目标预设值，根据第二电容值和第四电容值确定第二电容的第二目标预设值，从而在第一目标预设值和第二目标预设值的基础上进行阻抗匹配时，能够有效缩短阻抗匹配时长，进而能够有效提高等离子体相关工艺的工艺效果。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1446次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5867条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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