部分指标达国际先进，中国微机电系统关键射频参数计量技术取得突破
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2026-06-23 17:27:48
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5月12日消息，据了解，市场监管总局针对我国微机电系统（MEMS）射频参数计量标准缺失、信号完整性测试及可靠性研究能力不足的问题，近期组织国内相关科研机构，开展了MEMS关键射频参数计量测试技术攻关，显著提升了中国MEMS介电常数、脉冲波形、光子链路定位、电磁辐射等参数的计量测试能力，解决了MEMS关键射频参数的计量测试与应用问题。该研究成功研制基材介电常数计量装置、太赫兹波形计量装置、光子链路定位参数计量装置、微互连电磁泄漏总辐射功率测试装置、微机电系统电接触和互连电参数测试装置等多项技术成果，部分指标达到国际先进水平。研究团队牵头起草《皮秒级快沿/脉冲发生器校准规范》等3项国家计量技术规范，健全了中国在微机电系统测量及相关仪器仪表领域的质量保证体系。目前，相关研究成果已在5G高频器件、光电集成器件及机载光网络领域开展示范应用，助力中国滤波器等5G高频器件创新研发、保障故障诊断定位的准确可靠，有力支撑了中国新一代信息技术、航空航天等战略性新兴产业的高质量发展。（央视新闻）
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