科和盛业取得磁控溅射布气装置专利，实现均匀布气_科技资讯

科和盛业取得磁控溅射布气装置专利，实现均匀布气

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2026-06-11 03:33:08

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国家知识产权局信息显示，深圳市科和盛业技术有限公司、东莞市科盛机电设备有限公司取得一项名为“一种磁控溅射布气装置及磁控溅射装置”的专利，授权公告号CN224337696U，申请日期为2025年7月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种磁控溅射布气装置，其呈中空管状或者呈板状，磁控溅射布气装置的表面设有多个间隔设置的排气孔，全部或者部分排气孔设有可拆卸连接的调节螺栓，调节螺栓设有贯穿调节螺栓长度方向的通孔。本实用新型还公开了一种磁控溅射装置，本实用新型的磁控溅射布气装置及磁控溅射装置通过在排气孔设置有贯穿通孔的调节螺栓，能够延缓气体的流通速度，使其充分分布，实现均匀布气。

天眼查资料显示，深圳市科和盛业技术有限公司，成立于2019年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市科和盛业技术有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可6个。

东莞市科盛机电设备有限公司，成立于2020年，位于东莞市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市科盛机电设备有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息29条，此外企业还拥有行政许可11个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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