ASML申请衬底支撑件专利，提升衬底支撑与流体控制效果
创始人
2026-02-21 07:00:36
0次
国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“衬底支撑件”的专利，公开号CN121548773A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种被配置成支撑衬底的衬底支撑件（1）。该衬底支撑件包括主体（10），该主体（10）具有被配置成支撑衬底的第一侧和与该第一侧相反的第二侧。该第二侧形成有多个凹槽。该多个凹槽包括多个通道（50）和多个导管（60）。该多个通道包括第一通道（51）和大致围绕该第一通道的第二通道（52）。该多个导管包括至少一个第一导管（61）和至少一个第二导管（62）。该第一通道与该至少一个第一导管流体连通，并且该至少一个第一导管朝向该衬底支撑件的外围延伸，并且该第二通道与该至少一个第二导管流体连通，并且该至少一个第二导管朝向该衬底支撑件的该外围延伸。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
重大发现"泸州家乡大...
重大发现"泸州家乡大二辅助"原来存在有辅助神器(有挂教程)-哔哩哔哩1、下载好泸州家乡大二辅助正确养...
透视课程！wepoker辅助分...
透视课程！wepoker辅助分析器，aapoker辅助工具安全吗（透视）一贯有挂（哔哩哔哩）1、aa...
透视总结！破解辅助插件wepo...
您好，破解辅助插件wepoker这款游戏可以开挂的，确实是有挂的，需要了解加去威信【13670430...
透视教程书！aa poker辅...
透视教程书！aa poker辅助包，哈糖大菠萝软件下载（透视）切实是真的透视app（哔哩哔哩）1、完...
记者获悉"科乐游戏辅...
您好，科乐游戏辅助脚本下载这款游戏可以开挂的，确实是有挂的，需要了解加去威信【485275054】很...
透视模块！德州透视插件，wep...
透视模块！德州透视插件，wepoker透视有没有（透视）都是存在有挂（哔哩哔哩）1、这是跨平台的we...
透视举措！wepokerplu...
透视举措！wepokerplus脚本（透视）开挂透视下载（哔哩哔哩）该软件可以轻松地帮助玩家将wep...
透视举措！wejoker免费脚...
透视举措！wejoker免费脚本，wepoker脚本（透视）果然是有透视脚本（哔哩哔哩）1、wejo...
透视绝活！wpk私人局有透视吗...
透视绝活！wpk私人局有透视吗，hhpoker有没有外开挂（透视）其实是真的挂（哔哩哔哩）暗藏猫腻，...
玩家必看攻略"点我休...
玩家必看攻略"点我休闲辅助"一直是有辅助攻略(真的有挂)-哔哩哔哩1、全新机制【点我休闲辅助ai辅助...