ASML申请衬底支撑件专利，提升衬底支撑与流体控制效果
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2026-02-21 07:00:36
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“衬底支撑件”的专利，公开号CN121548773A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种被配置成支撑衬底的衬底支撑件（1）。该衬底支撑件包括主体（10），该主体（10）具有被配置成支撑衬底的第一侧和与该第一侧相反的第二侧。该第二侧形成有多个凹槽。该多个凹槽包括多个通道（50）和多个导管（60）。该多个通道包括第一通道（51）和大致围绕该第一通道的第二通道（52）。该多个导管包括至少一个第一导管（61）和至少一个第二导管（62）。该第一通道与该至少一个第一导管流体连通，并且该至少一个第一导管朝向该衬底支撑件的外围延伸，并且该第二通道与该至少一个第二导管流体连通，并且该至少一个第二导管朝向该衬底支撑件的该外围延伸。
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来源：市场资讯
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