拓荆科技获得发明专利授权：“一种改进洁净腔室内环境的方法”
创始人
2024-07-19 01:40:30
0次
证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种改进洁净腔室内环境的方法”，专利申请号为CN202010581927.4，授权日为2024年7月16日。
专利摘要：本发明提供了一种改进洁净腔室内环境的方法，该方法将等离子体反应后的腔室清洗分为两步进行，包括低温清洗和升温过程中清洗；应用于大于400℃的高温反应腔室。本发明通过调整反应衬底与顶部气板之间的距离，配合温度的变化，实现在不影响clean效率的同时降低对腔体部件的伤害，增加使用寿命。该方法可以实现现场校准，具有良好的生产经济价值。
今年以来拓荆科技新获得专利授权17个，较去年同期减少了58.54%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。
数据来源：企查查
以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。
相关内容
热门资讯
传授开挂！wepokerh5破...
传授开挂！wepokerh5破解，能否雀神挂件怎么安装，开挂（透视）辅助插件（有挂规律）;能否雀神挂...
7分钟辅助"微友三代...
7分钟辅助"微友三代辅助"原本有透视开挂辅助下载(有挂讲解);1、很好的微友三代辅助工具软件，可以解...
广南县科技馆开展科技体验日主题...
近日，广南县科技馆举办科技体验日主题科普活动，吸引约15名青少年参与，通过趣味互动与动手实践，让孩子...
透视辅助！一起宁德福鼎打炸辅助...
透视辅助！一起宁德福鼎打炸辅助，拱趴大菠萝有挂吗（透视）开挂辅助软件力荐教程;亲，有的，ai轻松简单...
如果春天有颜色，那一定是___...
当春意漫过黄土高原，定西的春天，正悄悄铺开一幅又暖又亮的画卷。 春风轻轻一洒，陇中的山峁梁峁就换了新...
关于辅助！hhpoker辅助实...
关于辅助！hhpoker辅助实战视频，精编打锅子奇迹陕西辅助，（透视）AI教程（有挂技巧）；陕西辅助...
曝光开挂！wpk真吗，凑一桌游...
曝光开挂！wpk真吗，凑一桌游戏辅助器，开挂（透视）辅助下载（详细教程）；凑一桌游戏辅助器简单的透视...
第十分钟辅助"微乐家...
第十分钟辅助"微乐家乡麻将辅助"最初有开挂辅助平台(有挂教学);1、让任何用户在无需AI插件第三方神...
透视玄学！新天道辅助软件怎么样...
透视玄学！新天道辅助软件怎么样，哈糖大菠萝有没有挂（透视）开挂辅助神器德州教程；1.透视玄学！新天道...
实测透视！werplan有挂吗...
实测透视！werplan有挂吗，多乐跑如何增加胜率，（透视）详细教程（有挂方式）；详细多乐跑如何增加...