拓荆科技获得发明专利授权：“一种改进洁净腔室内环境的方法”
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2024-07-19 01:40:30
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证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种改进洁净腔室内环境的方法”，专利申请号为CN202010581927.4，授权日为2024年7月16日。
专利摘要：本发明提供了一种改进洁净腔室内环境的方法，该方法将等离子体反应后的腔室清洗分为两步进行，包括低温清洗和升温过程中清洗；应用于大于400℃的高温反应腔室。本发明通过调整反应衬底与顶部气板之间的距离，配合温度的变化，实现在不影响clean效率的同时降低对腔体部件的伤害，增加使用寿命。该方法可以实现现场校准，具有良好的生产经济价值。
今年以来拓荆科技新获得专利授权17个，较去年同期减少了58.54%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。
数据来源：企查查
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