亚电科技申请单片晶圆清洗设备抽气结构专利，提高抽气效果_科技资讯

亚电科技申请单片晶圆清洗设备抽气结构专利，提高抽气效果

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2026-02-09 22:21:26

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国家知识产权局信息显示，江苏亚电科技股份有限公司申请一项名为“一种单片晶圆清洗设备抽气结构”的专利，公开号CN121467395A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种单片晶圆清洗设备抽气结构。本申请的单片晶圆清洗设备抽气结构，抽气管道连接隔离筒圈与汇集腔体，通过汇集腔体可以抽取隔离筒圈内的气体，汇集腔体具有多个进气口和一个出气口；汇集腔体包括轴对称设置的第一支臂和第二支臂，连接第一支臂与第二支臂的中间部，进气口对称地设置在第一支臂与第二支臂上，出气口设置在中间部上，第一支臂与第二支臂的纵截面的面积随着靠近中间部的方向逐渐增大。上述结构使得进气口相当于出气口的位置也对称，第一支臂与第二支臂的纵截面的变化也与抽气量的变化一致，进而使得所有进气口处的气压更为均匀，从而提高抽气效果。

天眼查资料显示，江苏亚电科技股份有限公司，成立于2019年，位于泰州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本8397.0931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏亚电科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息227条，此外企业还拥有行政许可27个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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