盖泽精密科技申请晶圆真空检测设备专利，提高了检测效率_科技资讯

盖泽精密科技申请晶圆真空检测设备专利，提高了检测效率

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2026-01-29 11:01:41

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国家知识产权局信息显示，盖泽精密科技（苏州）有限公司申请一项名为“一种晶圆的真空检测设备”的专利，公开号CN121419604A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆的真空检测设备，包括真空腔一、真空腔二、真空阀门组一，真空腔一内设有载台一，载台一用于上下料中转，包括多个上下层叠设置的支撑台，支撑台用于放置晶圆；真空阀门组一设于真空腔一与真空腔二之间，用于连通或者隔离真空腔一与真空腔二；真空腔二内设有检测模块，检测模块包括载台二、移栽机构、取料机械臂、检测机构，载台二用于定位晶圆，移栽机构的输出端设有载台二，用于驱动载台二在检测工位与取料工位之间移动，检测机构设于检测工位，用于检测晶圆，取料机械臂用于输送晶圆。本发明通过设置上下料中转的小真空腔及减小检测真空腔体积，可大大减少抽真空时间，提高了检测效率，节省了资源和生产成本。

天眼查资料显示，盖泽精密科技（苏州）有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1040.9356万人民币。通过天眼查大数据分析，盖泽精密科技（苏州）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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