华芯程申请掩膜缺陷检测专利,提升检测精确度与检测系统的鲁棒性
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2026-01-23 22:21:43
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国家知识产权局信息显示,华芯程(杭州)科技有限公司;华芯程(上海)工业软件有限公司申请一项名为“一种掩膜缺陷检测的方法、装置、设备及存储介质”的专利,公开号CN121391790A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明涉及集成电路生产领域,特别是涉及一种掩膜缺陷检测的方法、装置、设备及存储介质,通过接收待检掩膜的光学检测图像;在预设的理想成像条件下对所述待检掩膜进行光学模拟,得到光学仿真图像;确定所述光学仿真图像对比所述光学检测图像的超标像素点;得到所述光学仿真图像的超标像素占比;判断所述超标像素占比是否超过预设的条件切换阈值;在预设的误差成像条件下重新对所述待检掩膜进行光学模拟,得到对应的误差仿真图像,并计算所述误差仿真图像对比所述光学检测图像的超标像素点;根据所述误差仿真图像的超标像素点,确定所述待检掩膜的缺陷位置。本发明排除了检测系统硬件的干扰,提升信噪比,提升了检测精确度与检测系统的鲁棒性。

天眼查资料显示,华芯程(杭州)科技有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1010.688237万人民币。通过天眼查大数据分析,华芯程(杭州)科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息63条,专利信息145条,此外企业还拥有行政许可3个。

华芯程(上海)工业软件有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,华芯程(上海)工业软件有限公司专利信息5条。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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