芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件及其制造方法”_科技资讯

芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件及其制造方法”

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2025-11-10 00:41:39

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其制造方法”，专利申请号为CN202310166709.8，授权日为2025年11月7日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS器件及其制造方法，制造方法包括：在衬底上形成介质层，在介质层上形成图案化的第一导电层；在介质层和第一导电层上形成隔离层，隔离层覆盖第一导电层；在隔离层上形成阻挡层，阻挡层覆盖隔离层；在隔离层和阻挡层内形成第一沟槽，第一沟槽露出部分第一导电层；在阻挡层和露出的第一导电层上形成牺牲层，牺牲层覆盖阻挡层且填充第一沟槽；在牺牲层内形成第二沟槽，第二沟槽露出部分第一导电层；在牺牲层和露出的第一导电层上形成第二导电层，第二导电层覆盖牺牲层且填充第二沟槽；在第二导电层内形成第三沟槽；释放牺牲层。本申请的制造方法能够提高MEMS器件的结构稳定性。

今年以来芯联集成新获得专利授权62个，较去年同期减少了3.12%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9.64亿元，同比增10.93%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1712次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息763条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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