罗博特科获得实用新型专利授权：“一种硅片夹具”_科技资讯

罗博特科获得实用新型专利授权：“一种硅片夹具”

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2024-06-17 16:02:49

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证券之星消息，根据企查查数据显示罗博特科（300757）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种硅片夹具”，专利申请号为CN202322937183.7，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本实用新型涉及一种硅片夹具，包括：横梁组件，包括平行设置的第一横梁和第二横梁；连接组件，包括两个与横梁组件垂直设置的第一连接杆，且两个第一连接杆相互平行；至少一组夹持模块，每组夹持模块有两个分别安装于第一连接杆上的夹持单元；夹持单元包括活动夹和固定夹，活动夹和第一连接杆的第一表面弹性连接，固定夹和第一连接杆的第二表面固定连接。本实用新型提供的硅片夹具可对待镀膜的硅片进行稳定夹持，减少硅片上的各个位置的导电差异，使硅片镀膜均匀性得到有效提升。

今年以来罗博特科新获得专利授权31个，较去年同期增加了158.33%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8582.87万元，同比增44.38%。

数据来源：企查查

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