技术创新攻关一个个行业“堵点”，让装备制造企业迸发出新活力。6月6日，拜安科技与核电运行研究院联袂发布工业级压力变送器产品，该项目具有完全自主知识产权，填补国内相关领域空白。

此次核电运行研究院和拜安科技的联合攻关，依托MEMS（Micro Electro Mechanical Systems微机电系统）光纤传感技术，结合我国自主化三代核电机组对核级压力变送器的需求，开展具有完全自主知识产权的工业级光纤传感器研发。历经2年时间，已经研发设计出符合核电环境条件下可靠的压力变送器产品。为此，拜安科技还将在嘉定投资1.5亿元，建设一条芯片级模组自动化封装和压力标定的产线。

4平方毫米能做什么？

在上海拜安半导体有限公司的展示厅，工作人员向记者展示了一颗用于工业级压力变送器的MEMS光纤压力计芯片，仅仅4平方毫米的这一颗芯片，就能完成一台大型传统光学干涉仪的精确测量功能。

“这就是我们的MEMS光纤压力计芯片，它通过异质聚集成的方式将基础的硅材料、玻璃材料、光学膜集成在一起。就是把大型的光学干涉仪芯片化，相当于把大象的体积压缩到蚂蚁的体积大小。高精度的压力传感器的应用场景是非常广阔的。”上海拜安半导体有限公司技术人员介绍。

“MEMS光纤传感器”作为工业级压力变送器的核心技术之一，实现了核电工业对高精度、高安全级压力变送器的需求，是一次质的突破。

近年来，数智化的升级对重大装备领域为代表的重点基础设备的实时健康监测，提出了更高要求。但传统MEMS传感器在高温、电磁干扰等极端环境中仍存在局限性。随着光纤传感技术的蓬勃发展，拜安科技的MEMS光纤传感技术有望解决这一难题。

“一个核电机组大概会用到几千个压力变送器，一个压力变送器大概有4-6颗核心的传感器芯片。如果从整个市场规模来说，高端的压力变送器每年的市场规模近100亿元。目前，拜安科技的产品除了在国内不断拓展市场之外，在东南亚以及欧洲一些地方已经有批量性出货。我们计划在嘉定半导体产线上面再投资建立一条标准化、自动化的芯片级模组封装和压力标定产线，预计年产值达10亿元左右。”上海拜安半导体有限公司总经理郭凉杰介绍。

据介绍，拜安科技是国家级专精特新“小巨人”企业，国家高新技术企业，建设有CNAS实验室和投资2亿元的6吋MEMS工艺线，其产品已广泛应用于船舶、风电、石油化工、航空航天、电力、轨道交通等领域。

可以期待的是，这里将会有一项项“卡脖子”技术得到突破，一个个“专精特新”产品进入市场。

来源：上海嘉定