拓荆科技公布“一种抽气环及薄膜沉积设备”专利
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2025-10-20 03:03:12
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天眼查APP显示，近日，拓荆科技股份有限公司申请的“一种抽气环及薄膜沉积设备”专利公布。 摘要显示，本发明提供了一种抽气环及薄膜沉积设备。所述抽气环设于工艺腔室的侧壁，其外侧环绕有抽气通道，其中，所述抽气环上分布有多个抽气孔，所述抽气通道的至少一处设有连通抽气泵的抽气口，用于经由所述多个抽气孔从所述工艺腔室内部抽气。至少一个所述抽气孔为折线孔，其在所述抽气环的径向截面上设有弯折，其中，位于所述抽气环第一位置的第一抽气孔到其最近抽气口的第一孔外路径长度，小于位于所述抽气环第二位置的第二抽气孔到其最近抽气口的第二孔外路径长度，所述弯折使所述第一抽气孔的第一孔内路径长度大于所述第二抽气孔的第二孔内路径长度。
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