华海清科获得发明专利授权：“晶圆后处理装置和方法”
创始人
2025-09-13 08:41:17
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆后处理装置和方法”，专利申请号为CN202510314832.9，授权日为2025年9月12日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置和方法，属于半导体制造技术领域，该晶圆后处理装置包括：箱体；支撑组件，设置于箱体中，其包括主动轮和从动轮，以竖向支撑并带动晶圆转动；清洗刷，水平设置于箱体中并绕轴线转动，以刷洗晶圆；所述从动轮内部设置有垫圈，所述垫圈的外周壁配置有凹槽，用于卡接晶圆的边缘；所述凹槽的第一内侧壁和第二内侧壁配置有纹理结构，以增强晶圆卡接的可靠性。
今年以来华海清科新获得专利授权64个，较去年同期增加了146.15%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。
通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目231次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息716条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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