华海清科取得一种晶圆清洗装置专利，保障晶圆的清洗效果
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2025-08-24 14:02:27
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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司取得一项名为“一种晶圆清洗装置”的专利，授权公告号CN223260557U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，所述清洗装置包括量测组件，测量基准晶圆的初始测量参数和实际测量参数；基准组件，测量初始测距参数，当基准晶圆下入从动轮凹槽中满足测距条件时，测量基准晶圆的实际测距参数；调节组件，根据实际插入量调整驱动支撑结构的相对位置使实际插入量满足预设阈值；驱动支撑结构，竖向支撑并带动晶圆转动；清洗刷，刷洗晶圆的正、反面。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息704条，此外企业还拥有行政许可31个。
来源：金融界
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