芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件及其形成方法”_科技资讯

芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件及其形成方法”

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2024-05-25 10:01:42

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证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件及其形成方法”，专利申请号为CN202010239106.2，授权日为2024年5月24日。

专利摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其形成方法。通过在第一固定梳齿结构和第二固定梳齿结构之间设置支撑部，从而在键合第二衬底时，不仅可以提高第二衬底的键合表面，并且还可以利用支撑部使得第二衬底能够承受更大的压力，有利于缓解后续工艺中第二衬底容易发生隐裂甚至断裂的问题。以及，在后续工艺中从第一衬底的背面去除支撑部，以在第一固定梳齿结构和第二固定梳齿结构之间形成空腔，进而保障所形成的MEMS器件的性能。

今年以来芯联集成新获得专利授权33个，较去年同期增加了57.14%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

数据来源：企查查

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