乐金显示取得化学气相沉积设备专利,彻底清洁腔室内部
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2025-05-31 22:00:49
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金融界2025年5月31日消息,国家知识产权局信息显示,乐金显示光电科技(中国)有限公司取得一项名为“化学气相沉积设备”的专利,授权公告号CN222923231U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种化学气相沉积设备,属于半导体制造技术领域。化学气相沉积设备包括工艺腔室,具有反应腔,工艺腔室的顶壁上设置有进气接口,进气接口与反应腔连通;等离子体源生成装置,设置于工艺腔室的顶壁上;第一连接管道,第一连接管道的一端与等离子体源生成装置连通,第一连接管道的另一端与进气接口连通;第二连接管道,第二连接管道的一端与等离子体源生成装置连通,第二连接管道的另一端与工艺腔室的侧壁连接并与反应腔连通;磁场发生装置,设置于工艺腔室外面的底部,用于产生沿第一方向延伸的磁感线。

天眼查资料显示,乐金显示光电科技(中国)有限公司,成立于2018年,位于广州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1560000万人民币。通过天眼查大数据分析,乐金显示光电科技(中国)有限公司参与招投标项目30次,专利信息745条,此外企业还拥有行政许可398个。

来源:金融界

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