广东先导取得双工位横移式清洗装置专利，能够提升清洗效果_科技资讯

广东先导取得双工位横移式清洗装置专利，能够提升清洗效果

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2025-05-08 21:01:31

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金融界2025年5月8日消息，国家知识产权局信息显示，广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种双工位横移式清洗装置”的专利，授权公告号CN222817456U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请公开了一种双工位横移式清洗装置，涉及半导体衬底材料制造技术领域，包括移动板、驱动器以及喷淋组件；驱动器与移动板连接；移动板上设有沿第一水平直线方向间隔设置的两个固定组件；各个固定组件均包括两个治具；喷淋组件为两个；利用治具来倾斜固定衬底片，并使得衬底片靠近预设面的第一面倾斜朝下设置，而远离预设面的第二面倾斜朝上设置；使得衬底片的第一面与第二面均有一定的喷淋清洗角度，从而能够利用第一喷淋管以及第二喷淋管对衬底片的第一面与第二面进行同步清洗，还能够实现双工位清洗作业，进一步提升效率；利用驱动器来带动移动板往复移动，进而带动固定组件上的衬底片往复移动，实现动态喷淋清洗，进一步提升清洗效果。

天眼查资料显示，广东先导微电子科技有限公司，成立于2020年，位于清远市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本54384万人民币。通过天眼查大数据分析，广东先导微电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息495条，此外企业还拥有行政许可182个。

来源：金融界

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