中微公司申请一种等离子体处理装置专利，延长了传动杆的使用寿命
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2024-09-07 04:20:39
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金融界 2024 年 9 月 6 日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种等离子体处理装置“，公开号 CN202310207928.6，申请日期为 2023 年 3 月。
专利摘要显示，本发明提供一种等离子体处理装置，其包含：真空反应腔，其内有可升降下电极组件，真空反应腔底壁设有射频屏蔽基板；射频导杆，其顶端与下电极组件下方电连接；可伸缩密封组件，其沿射频导杆的轴向伸缩，且设在可升降下电极组件和真空反应腔底壁之间；屏蔽传动组件，采用金属制成，用于带动可升降下电极组件移动，其包括：传动杆，其顶端与可升降下电极组件固定连接；法兰盘，其无缝套设在传动杆上；可伸缩屏蔽件，其环绕传动杆的周向设置，顶端与法兰盘电连接，底端与射频屏蔽基板电连接。其优点是：屏蔽传动组件具备高抗拉强度、高螺纹硬度的特性，延长了传动杆的使用寿命，且实现了射频屏蔽，有效防止射频泄露造成的设备损伤。
来源：金融界
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