金融界2025年4月30日消息,国家知识产权局信息显示,南亚科技股份有限公司申请一项名为“形成电容器的方法”的专利,公开号 CN119890197A,申请日期为2024年2月。
专利摘要显示,本揭示内容提供一种形成电容器的方法。方法包括以下操作。以第一温度形成金属氧化物绝缘层在第一导电层上,其中第一温度低于金属氧化物绝缘层的结晶温度。以第二温度形成第二导电层在金属氧化物绝缘层上。以第三温度形成绝缘层在第二导电层上,以结晶化金属氧化物绝缘层而形成结晶的金属氧化物绝缘层,其中第二温度介于第一温度与第三温度之间。本揭示内容在形成电容器时以梯度递增的方式使用第一温度、第二温度和第三温度而可容易地实施本揭示内容的方法,并通过本揭示内容的方法可形成具有高的长宽比的电容器、提升电容器的电容量以及避免漏电流。
来源:金融界