上海卓晶取得可旋转真空吸附装置专利，提高工作效率_科技资讯

上海卓晶取得可旋转真空吸附装置专利，提高工作效率

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2025-04-29 12:21:39

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金融界2025年4月29日消息，国家知识产权局信息显示，上海卓晶半导体科技有限公司取得一项名为“一种可旋转真空吸附装置”的专利，授权公告号CN222801782U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型提出一种可旋转真空吸附装置，其包括支承装配组件、转接承载组件、真空配接组件、承转载托组件、转动通联组件、吸附定位组件及动力驱转组件，该可旋转真空吸附装置集成了真空吸附、旋转定位和动力驱动等多项功能，可实现晶圆片的稳定吸附、精准定位和旋转操作，这种集成化设计可提高工作效率，减少设备占地面积，并使得操作更加简便，通过支承装配组件、转接承载组件等部件的精确配合和稳固安装，确保装置整体结构的稳定性和可靠性，吸附定位组件能够精确地对晶圆片进行吸附定位，而动力驱转组件则能够实现晶圆片的稳定旋转，通过调整驱动电机的参数，可以精确控制旋转的速度和角度，满足不同加工需求。

天眼查资料显示，上海卓晶半导体科技有限公司，成立于2011年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本850万人民币。通过天眼查大数据分析，上海卓晶半导体科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目9次，专利信息36条，此外企业还拥有行政许可1个。

来源：金融界

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