深圳市锐丰视觉申请晶圆对准相关专利,提升适用范围
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2025-04-21 22:01:27
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金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市锐丰视觉科技有限公司申请一项名为“晶圆对准装置、方法、电子设备及计算机可读存储介质”的专利,公开号CN119852228A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本申请涉及晶圆对准装置、方法、电子设备及计算机可读存储介质,转动组件设置于移动组件上,吸附组件设置于转动组件上,用于以负压吸附方式吸附待对准的晶圆;移动组件用于将转动组件上的吸附组件移动到相机组件的拍摄位置;相机组件用于拍摄吸附组件上的晶圆,提供拍摄结果以确定晶圆的圆心位置。一方面在转动组件带动吸附组件及待对准的晶圆处于转动状态下,通过相机组件实现拍摄成像,以供定位晶圆的圆心位置;另一方面移动组件带动转动组件及吸附组件移动到适合相机组件的拍摄位置,即可进行拍摄定位,从而在不损坏晶圆的前提下提升了适用范围,支持各种规格的晶圆,并且定位精度高,有利于配合晶圆搬运机器人实现自动化工艺。

天眼查资料显示,深圳市锐丰视觉科技有限公司,成立于2023年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本150万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市锐丰视觉科技有限公司财产线索方面有商标信息3条,专利信息2条,此外企业还拥有行政许可3个。

来源:金融界

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