无锡松煜申请空间型原子层沉积系统专利，改善原子层薄膜结构_科技资讯

无锡松煜申请空间型原子层沉积系统专利，改善原子层薄膜结构

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2025-03-18 01:21:51

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金融界2025年3月17日消息，国家知识产权局信息显示，无锡松煜科技有限公司申请一项名为“空间型原子层沉积系统、利用其进行的原子层沉积工艺及复合薄膜”的专利，公开号CN 119615112 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明涉及太阳能电池组件技术领域，尤其是一种空间型原子层沉积系统、利用其进行的原子层沉积工艺及复合薄膜。本发明所述空间型原子层沉积系统包括板式反应腔室，板式反应腔室沿自身长度方向连通有若干氮气输入管和氮气排气管；氮气排气管设置于相邻氮气输入管之间，且两根氮气排气管设置于相邻氮气输入管之间；板式反应腔室沿自身长度方向还依次交叉设置与其连通的金属源输入管组、氧源输入管组，金属源输入组和氧源输入组分别包括若干金属源输入管和氧源输入管。本发明所述空间型原子层沉积系统可改善原子层的沉积效率，同时也可改善所沉积的原子层薄膜结构，调控薄膜特性改善太阳能电池组件的电导率、光电转化效率。

天眼查资料显示，无锡松煜科技有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3221.2326万人民币，实缴资本3145.7349万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡松煜科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息162条，此外企业还拥有行政许可17个。

来源：金融界

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