合肥艾凯瑞斯申请晶圆减薄装置专利，提高晶圆磨削质量_科技资讯

合肥艾凯瑞斯申请晶圆减薄装置专利，提高晶圆磨削质量

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2025-03-15 20:02:06

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金融界2025年3月15日消息，国家知识产权局信息显示，合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司申请一项名为“一种晶圆减薄装置”的专利，公开号CN 119609910 A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆减薄装置，所述Z轴移动组件包括主轴安装架，所述主轴安装架上通过三个Z轴滑台配合三条Z轴导轨滑动布置在所述上床身支架上，所述磨削主轴组件布置在所述Z轴移动组件上且位于三个所述Z轴导轨形成的三角形中心位置；所述上床身支架上布置有用以驱动主轴安装架沿着Z轴方向移动的Z轴驱动组件本发明Z轴移动组件采用三个Z轴导轨的进行定位导向，使得Z轴方向上的运动稳固，提高减薄砂轮对于晶圆的磨削质量；转台中心与丝杠中心同心，减少偏摆影响，磨削均匀且刚性好；同时减薄主轴平面度选用三点调平，方便快速高效地调节减薄主轴的平面度，保证后续加工质量。

天眼查资料显示，合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本329.835719万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可2个。

来源：金融界

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