雅科贝思取得晶圆检测装置专利，提高兼容适配性_科技资讯

雅科贝思取得晶圆检测装置专利，提高兼容适配性

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2025-03-11 11:01:21

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金融界2025年3月10日消息，国家知识产权局信息显示，雅科贝思精密机电（上海）有限公司取得一项名为“一种晶圆检测装置”的专利，授权公告号 CN 222562626 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆检测装置，涉及晶圆检测技术领域，其包括基座、上层支撑件和下层支撑件，上层支撑件被配置为承托蓝膜晶圆，所述上层支撑件包括蓝膜铁环和上层驱动缸，蓝膜铁环设置有居中让位孔；上层驱动缸的固定端与基座连接，上层驱动缸的活动端与蓝膜铁环连接；所述下层支撑件被配制为承托普通晶圆，下层支撑件包括静电卡盘和下层驱动缸，静电卡盘设置在蓝膜铁环的居中让位孔的位置处；下层驱动缸的固定端与基座连接，下层驱动缸的活动端与静电卡盘连接；其中，蓝膜铁环和静电卡盘设置在不同的高度位置。本实用新型所述的晶圆检测装置具有提高兼容适配性，操作方便以及节约生产成本的效果。

天眼查资料显示，雅科贝思精密机电（上海）有限公司，成立于2009年，位于上海市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本14998.001万人民币，实缴资本625万人民币。通过天眼查大数据分析，雅科贝思精密机电（上海）有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息126条，专利信息105条，此外企业还拥有行政许可101个。

来源：金融界

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