卓海科技取得一种晶圆加热装置专利，提高了加热晶圆的效率
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2024-08-26 20:42:00
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金融界 2024 年 8 月 25 日消息，天眼查知识产权信息显示，无锡卓海科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆加热装置“，授权公告号 CN221596393U，申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆加热装置，该晶圆加热装置包括晶圆载台、加热元件和绝缘基座，晶圆载台上设置有用于放置晶圆的工作区域；加热元件设置于工作区域上，晶圆放置于加热元件上，加热元件用于加热晶圆；绝缘基座设置于加热元件与晶圆载台之间，绝缘基座用于隔离加热元件与晶圆载台。本实用新型通过将绝缘基座设置于加热元件与晶圆载台之间，使得晶圆载台能够与加热元件分离，避免了加热元件与晶圆载台的接触，在加热元件进行加热时减少热量向晶圆载台的传递，提高了加热晶圆的效率，节约了生产资源。
来源：金融界
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